三氟化氮NF3
产品类别:
英文名称:
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产品规格: 半导体或者液晶屏作业一般在半导体镜片或者, TFT-LCD(液晶屏)圆盘上涂绝缘膜,导电膜,使的它具有导电性能或者有绝缘性能。
产品说明:半导体或者液晶屏作业一般在半导体镜片或者, TFT-LCD(液晶屏)圆盘上涂绝缘膜,导电膜,使的它具有导电性能或者有绝缘性能。一般生产过程中，当把半导体晶片或LCD盘放到CVD Chamber当中，再通特殊气体，使它产生化学反映后，在半导体晶片，或LCD盘和CVD Chamber内部形成导电膜或者绝缘膜，为了处理CVD Chamber内部所形成的残余物，给CVD Chamber通NF3气体，通过化学反映可以完全清理残余物。
| 品名: | 三氟化氮NF3 |
|---|---|
| 用途: | 暂无数据 |
| 别名 | 暂无数据 |